VERIC A6151A 碳化硅高温退火炉 适用于碳化硅高温激活 & 退火的设备
VERIC A6151A 碳化硅高温氧化炉,适用于碳化硅高温激活 & 退火的设备,最高温度 2000℃,升温速率可达 100℃/min,石墨电阻加热,工艺腔室洁净。
HORIC D200系列 扩散/氧化系统,半导体客户端机台装机量大,可根据客户需求配置多工艺组合的机台,安全性能高:设备及所使用的元件符合国标和国际标准。
AGF系列 电阻式碳化硅长晶炉,适用于 6、8 英寸,导电 / 高纯半绝缘型 SiC 晶体生长。
APS系列 感应式碳化硅长晶炉,适用于 6 英寸、8 英寸,导电 / 高纯半绝缘型 SiC 晶体生长。
Pallas A220 碳化硅快速热退火系统,加热分区设计,具备良好的温度均匀性。