产品概述： 高真空磁控溅射与离子束复合薄膜沉积系统可用于制备光学薄膜、电学薄膜、磁性薄膜、硬质保护薄膜和装饰薄膜等，工艺性能稳定、模块化结构，采用可行软件控制系统。 设备用途： 用于纳米级单层及多层功能膜、硬质膜、金属膜、半导体膜、介质膜等新型薄膜材料的制备。可广泛应用于大专院校、科研院所的薄膜材料的科研项目。

Epiluvac 产品通常作为完整的系统交付，包括反应器模块、气体输送系统、过程控制、安全系统、安装和调试。每个系统在发货前都经过广泛的测试，一旦安装，交付还包括所有必要的客户操作和维护培训。

laurell的WS-650-8 B 型匀胶机结构紧凑，具有优良的功能。这款650系列涂布机系统 将 可容纳最大200mm晶圆和 7英寸×7英寸 （178mm×178mm）基板，最大转速为12,000 RPM（基于100mm硅片）。

laurell的WS-650-23B型匀胶机结构紧凑，具有优良的功能。这款650系列涂布机系统 将 可容纳最大150mm晶圆和5英寸×5英寸（127mm×127mm）基板，最大转速为12,000 RPM（基于100mm硅片）。

laurell的H6-15系列匀胶机结构紧凑，具有优良的功能，设计为最容易安装在手套箱中的旋涂机。这款650系列HL涂布机系统 将 可容纳高达300mm 的晶圆和9英寸×9英寸（229mm×229mm）基板，最大转速为 12,000 RPM（基于100mm硅片）。

Veeco 的 EPIK® 868 是 LED 业界最高性能的金属有机物化学气相沉积系统MOCVD，可实现出色的均匀性和可重复性，以及低缺陷率。Veeco 提供了一系列 GaN 和 As/P 金属有机物化学气相沉积 (MOCVD) 系统，提高吞吐量，同时降低包括显示器、3D 传感、LiDAR、微型 LED 显示器和光学数据通信在内的各种应用的拥有成本。