Laurell的EDC-650-15B型匀胶机结构紧凑,具有先进的功能。这款650系列EDC系统将可容纳高达300mm的晶圆和9英寸×9英寸(229mm×229mm)基板。虽然这个系统有12,000RPM的能力带真空压紧装置,建议仅用于3,000RPM和非真空吸盘。
Laurell的EDC-650-8B匀胶机结构紧凑,具有优良的功能。这款650系列EDC系统将可容纳最大200mm晶圆和7英寸×7英寸(178mm×178mm)基板。虽然这个系统有12,000RPM的能力带真空压紧装置,建议仅用于3,000RPM和非真空吸盘。
Laurell的EDC-650-23B型匀胶机结构紧凑,具有先进的功能。这款650系列EDC系统将可容纳最大150mm晶圆和5英寸×5英寸(127mm×127mm)基板。虽然这个系统有12,000RPM的能力带真空压紧装置,建议仅用于3,000RPM和非真空吸盘。
Laurell的WS-650-15B型匀胶机结构紧凑,具有先进的功能。这款650系列系统将可容纳高达300mm的晶圆和9英寸×9英寸(229mm×229mm)基板,最大转速为12,000RPM(基于100mm硅片)。
产品概述: 高真空脉冲激光溅射薄膜沉积系统主要由真空室、旋转靶台、基片加热台、工作气路、抽气系统、安装机台、真空测量及电控系统等组成。 设备用途: 脉冲激光沉积(Pulsed Laser DeposiTION,简称PLD)是新近发展起来的一项技术,继20世纪80年代末成功地制备出高临界温度的超导薄膜之后,它的优点和潜力逐渐被人们认识和重视。该项技术在生成复杂的化合物薄膜方面得到了非常好的结果。
产品概述: 高真空脉冲激光溅射薄膜沉积系统主要由溅射真空室、旋转靶台、抗氧化基片加热台、工作气路、抽气系统、安装机台、真空测量及电控系统等部分组成。 设备用途: 用于制备超导薄膜、半导体薄膜、铁电薄膜、超硬薄膜等。广泛应用于大专院校、科研院所进行薄膜材料的科研。