NMC 508系列 ICP刻蚀机是电感耦合高密度等离子体(Inductively Coupled Plasma, ICP)干法刻蚀机,具有高精度、高选择性和高效率等特点。该设备广泛应用于半导体制造、微电子制造、光电子制造等领域,特别是在集成电路、微机电系统(MEMS)、光电子器件等制造过程中发挥着重要作用。
NMC 612G 12英寸金属刻蚀机,可用于铝、硅,氧化物、钼、氧化铟锡等多种材料刻蚀。
HORIC L200 系列 卧式 LPCVD 气相沉积系统,半导体客户端机台装机量大,可根据客户需求配置多工艺组合的机台.可提供优良成熟的 MES 系统解决方案.优异的工艺技术支持。
Scaler HK430 热原子层沉积系统,填孔能力以及良好的薄膜均匀性,腔室结构设计,具备良好的防酸腐蚀能力。
EPEE系列 等离子化学气相沉积系统 单片和多片式架构,满足量产和研发客户需求高效远程等离子体清洗系统,优异的颗粒控制.满足量产和研发客户需求.
eVictor系列 8英寸通用物理气相沉积系统,加热基座设计,具备良好的温度均匀性,高温厚铝工艺连续作业无累温。