枚叶式PECVD设备CME-200E/400 枚叶式PE-CVD设备CME-200E/400是适用于Si系绝缘膜、barrier膜等成膜的量产用PECVD设备。

纵向式Cat-CVD设备CCV系列CCV Series是a-Si镀膜用的纵向式CVD设备。有30年以上的量产实绩。在各个chamber通过低压镀膜，得到高品质的膜质。

卷绕式真空蒸镀设备 EW系列 塑料薄膜、纸、金属箔等连续卷绕的同时，对金属和氧化物进行蒸镀的成膜设备。从小型的实验机到大量的生产设备，此外，还提供一系列用于包装材料，电容器，磁带等其他应用的型号。

卷绕式溅射设备SPW系列 SPW系列设备，是可在塑料薄膜上进行光学膜、金属膜等多层成膜的卷绕式设备。实施成膜室间的气氛分隔，可以使高性能的多层膜一次性成膜。

有机EL成膜设备SOLCIET, SATELLA, ZELDA系列。ULVAC面向有机EL材料开发提供实验用设备系统到量产Cluster系统设备和Inline系统设备。

RIE-1C是用于半导体芯片故障分析的紧凑型刻蚀设备。可以高效、低损伤地去除钝化膜。它操作简单，样品放置后只需按一下按钮就可以完成整个过程。可以放在桌面上，也可以选择用支架。