量产用刻蚀设备NE-5700/NE-7800 量产用刻蚀设备NE-5700/NE-7800是可以对应单腔及多腔、重视性价比拥有扩展性的刻蚀设备。

溅射镀膜设备SMD系列（立式） SMD 系列是镀金属膜、ITO、IGZO、诱电体膜等的枚叶式溅射镀膜设备。仅SMD系列就有超过1000台的丰富的采用实绩，在各种各样的生产环境下运转。及时反映从生产现场听取的意见，进一步提高设备的可靠性。

Load-lock式溅射设备是可对应从研究开发到小规模量产的溅射设备。这种设备通过在真空溅射室之前增加一个预真空锁室（Load-lock chamber），实现了基片在预真空环境下进行快速装卸，同时保持了溅射室的高真空状态。

批次式溅射设备SV系列 SV系列为纵型batch式溅射设备。为可以处理大量基板的回转型设备。

枚叶式等离子CVD设备CMD系列 CMD系列是用SiH4和TEOS成膜的a-Si膜、氧化硅膜、氮化膜成膜用的枚叶式CVD设备。

Load-lock式Plasma CVD设备 CC-200/400 Load-lock式Plasma CVD设备CC-200/400是小型的使用便利的可对应从研究开发到量产的设备。