Beneq Transform在其多功能性和适应性方面建立了全新的ALD集群工具产品，以满足广泛的应用和细分市场的需求。Beneq Transform 配置多个 ALD 工艺模块，以满足特定的晶圆容量要求，或者在以后进行升级，以响应不断增长的数量或新的 ALD 应用

Beneq Prodigy™ 是 VCSEL、LED 和 MEMS 制造商和代工厂的理想制造解决方案，他们希望通过经济实惠的独立 ALD 批处理工具提高设备性能和可靠性。Beneq Prodigy 为多种晶圆类型和尺寸提供同类最佳的钝化和/或封装膜。

Beneq Transform 300 是一个高度通用的制造平台，面向致力于 CIS、电源、Micro-OLED/LED、先进封装和其他 MtM 应用的 IDM 和代工厂。它是一种高度可配置的解决方案，适用于多种高级薄膜应用，从栅极电介质到钝化和/或封装等。

碳化硅沉积系统G10-碳化硅150 mm 和 200 mm – 支持双晶圆尺寸 – 为您的未来投资提供保障市场上最高的晶圆产量 / m2市场上晶圆出色的运行过程性能高度均匀、低缺陷的 SiC 外延工艺，可实现最大的芯片良率

化合物半导体沉积系统“行星式反应器模块，用于在150/200毫米衬底（Si/蓝宝石/SiC）上应用氮化镓，可提高生产率和晶圆性能”

化合物半导体沉积系统AIX G5 WW C“下一代碳化硅电力电子器件的最佳性能，以应对全球大趋势”高吞吐量批量外延与单晶圆控制 - 两全其美。