双轴半自动划片机是一款先进的半导体切割设备,广泛应用于半导体制造和封装领域。该设备结合了高精度、高效率和稳定性等特点,能够满足现代半导体工业对切割精度的严格要求。
7234划片机是一款高精度的半导体切割设备,主要用于晶圆或其他材料的切割加工。它配备了4英寸的空气轴承主轴,采用直流无刷电机驱动,转速高达30krpm,能够兼容4-5英寸的刀片。该设备能够覆盖最大直径为300毫米或253mmX243mm的方形产品,具有高效、精确的切割能力
等离子体沉积ALD AD-230LP是一种原子层沉积(ALD)系统,能够在原子水平上控制薄膜厚度。有机金属原料和氧化剂交替供给反应室,仅通过表面反应进行薄膜沉积。该系统具有负载锁定室,且不向大气开放反应室,因此能够实现薄膜沉积的优良再现性。
由德国UNITEMP研发的等离子清洗和加热机,最大零件装载面积:305 mm x 305 mm(最大零件高度为 25 mm)。
6110是一款高精度、高性能单轴半自动划片机,机身宽度490mm,占地面积小,结合全新设计的操作系统,提供高效、低使用成本的切割体验。
SENTECH AL 实时监测器是一种经过验证的光学诊断工具,可实现单个 ALD 和 ALE 周期的超高分辨率。主要应用是在不破坏真空的情况下分析薄膜特性(生长速率、厚度、折射率以及蚀刻速率),在短时间内开发新工艺,以及实时研究 ALD 和 ALE 周期期间的反应机理。